＊HiPIMS技術小組：研究以高功率脈衝磁控濺鍍(HiPIMS)技術來鍍製各種薄膜材料，開發商用功能性鍍膜製程技術與設計開發HiPIMS鍍膜系統

 

                                                                                                       

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

＊光電及半導體薄膜小組：著重於半導體薄膜、非揮發記憶體、透明導電薄膜、拉伸式光電元件之研究開發。

 

                        

 

    

＊生醫薄膜小組：著重於生醫光電及電子檢測與功能性（電化學聚合）鍍膜為主。

 

       

 

＊電漿技術小組：著重於利用液態電漿及大氣電漿技術進行表面改質之研究。

 

                                                                                                        

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

＊能源薄膜小組：著重於太陽能應用、各類電池應用之薄膜材料的研究與發展。