小組簡介
＊表面改質小組：著重以鍍膜等表面改質技術提升各種底材之機械性質、耐熱、抗蝕與抗菌性能之研究。
以奈米多層鍍膜提升微端銑刀的切削壽命
具優異抑菌能力之奈米多層與奈米複合薄膜
＊光電及半導體薄膜小組：著重於薄膜太陽能電池、非揮發記憶體、透明導電薄膜、拉伸式光電元件之研究開發。
鈣鈦礦太陽能電池 應變感測器
＊生醫薄膜小組：著重於生醫光電及電子檢測與功能性（電化學聚合）鍍膜為主。
＊非傳統電漿小組：著重於利用液態電漿及大氣電漿技術進行表面改質之研究。
以液態電漿技術製備多孔性陶瓷氧化薄膜
氫氧自由基分布圖
＊高密度電漿小組：以開發先進鍍膜系統及其商用功能性鍍膜製程技術為主要任務。
Ex. 全反射車燈殼模具TiN鍍膜應用