電漿薄膜發展組：HiPIMS技術小組、光電及半導體薄膜小組、生醫薄膜小組、電漿技術小組、能源薄膜小組。

貴重儀器組：貴重儀器量測與委託服務。

產學服務組：(鍍膜、量測與委託服務)、技術諮詢與輔導、技術推廣、人才培訓、舉辦研討會、國內外科技交流。

學術組：電漿與薄膜工程國際博士學位學程