前瞻薄膜技術發展組：電漿技術小組、先進鍍膜技術小組、能源應用小組、感測應用小組。

產學服務組：鍍膜、量測與委託服務、技術諮詢與輔導、電漿博膜技術推廣、企業人才培訓、國內外科技交流。

貴重儀器組：貴重儀器量測與委託服務。

博士學程事務組：電漿與薄膜工程國際博士學位學程教學、學生、行政事務。