電漿薄膜發展組：電漿技術小組、先進鍍膜技術小組、能源薄膜小組、感測薄膜小組。

產學服務組：(鍍膜、量測與委託服務)、技術諮詢與輔導、人才培訓、舉辦研討會、國內外科技交流。

貴重儀器組：貴重儀器量測與委託服務。

博士學程事務組：電漿與薄膜工程國際博士學位學程教學、學生、行政事務。