本中心佔地486坪，共設立十八間實驗室，包含先進化學鍍膜實驗室、先進物理鍍膜實驗室(Ⅰ)、先進物理鍍膜實驗室(Ⅱ)、薄膜與機械性質實驗室、先進電漿實驗室、光電檢測實驗室、產學製程實驗室、產學檢測實驗室、應用生醫薄膜實驗室、抗菌實驗室、電漿表面工程實驗室、新薄膜製程實驗室、黃光製程實驗室、耐蝕材料及防蝕技術實驗室、功能性大氣電漿實驗室、前瞻光電材料實驗室、超材料實驗室、貴重儀器中心 ，另有一間辦公室及一間大型會議室。