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電漿薄膜發展組:HiPIMS技術小組、光電及半導體薄膜小組、生醫薄膜小組、電漿技術小組、能源薄膜小組。

貴重儀器組:貴重儀器量測與委託服務。

產學服務組:(鍍膜、量測與委託服務)、技術諮詢與輔導、技術推廣、人才培訓、舉辦研討會、國內外科技交流。