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序號 設備名稱 負責人 分機 收費標準
1 熱電子型場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)

曾傳銘老師、李志偉老師

6320、6313

2,000/小時

貴重儀器管理辦法

2 EDS 曾傳銘老師、李志偉老師 6320、6313

2,000/小時

貴重儀器管理辦法

3 表面輪廓儀(Alpha-Step) 張麗君老師 6302

300元/件

貴重儀器管理辦法

4 傅立葉轉換紅外光譜儀(FTIR) 黃裕清老師 6317

1,200元/小時

貴重儀器管理辦法

5 紫外、紅光線/可見光分光光譜儀(UV/VIS/NIR spectrometers) 游洋雁老師 6305

1,200元/小時

貴重儀器管理辦法

6 SEM鍍白金 曾傳銘老師、李志偉老師 6320、6313

300元/次

貴重儀器管理辦法

7

X光射線光電子能譜儀(XPS)

黃啟賢老師

操作者:魏佚衿 經理

6300

7513

貴重儀器管理辦法

XPS預約管理辦法

儀器檢測申請表(一)

XPS樣品檢測申請書(二)

預約狀況查詢

8 高解析穿透式電子顯微鏡HRTEM*1 曾傳銘老師、林延儒老師 6320、6311 上機4,000/hr (一次必須預約四小時)
9 冷場發射掃描式電子顯微鏡FESEM*1 李志偉老師 6313 2,000元/小時
10 X光繞射光譜儀XRD*1 阮弼群老師 6306 1,000元/小時
11 掃描式電子顯微鏡(SEM)*1 程志賢老師 6309 1,000元/小時
12 奈米壓痕儀Nano-indenter *1 李志偉老師 6313 3,000元/小時 (自備探針)5,000元/小時(無探針)學界另計
13 微電子分析儀IV-CVmeasurement system*1 阮弼群老師 6306 依合作內容執行
14 原子力顯微鏡AFM*1 張麗君老師 6302、6335 1,000元/小時
15 橢圓儀Ellipsometer*1 盧榮宏老師 6303 2,500元/小時
16

濺鍍設備Sputtering system*6

陳勝吉老師、程志賢老師、

阮弼群老師、張麗君老師、

盧榮宏老師、林延儒老師

6307、6309、

6306、6302、

6303、6311

依產學合作案內容執行
17 光激發光譜儀PL*1 游洋雁老師 6305 1,200元/小時
18 表面輪廓儀*1 姚栢文老師 6325 300元/PC
19 電化學量測設備Electrochemical system*2 彭坤增老師 6310 依合作內容執行
20 材料製程模擬Material processing simulation*1 吳鉉忠老師 6304 依合作內容執行